炬光科技(688167)泛半导体应用业务：晶圆退火设备关键指标如光斑均匀性和控制精度均已超国外设备，取得上海微电子和华卓精科订单，并在全球2家TOP5晶圆代工厂完成工艺验证。
公司向海外知名光刻机镜头模组商提供光场匀化器，退火产品2020年进入台积电供应链。
