光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，据媒体报道，近日长江存储与中芯国际先后从阿斯麦订购了两台高端光刻机，总价值约12亿元人民币。而值得注意的是，中芯国际订单的时间点恰恰是在在今年4月中兴通讯遭遇美国制裁之后。

每经编辑 郑直

近日，武汉天河机场迎来了一箱比黄金还要贵重的进口设备！

据cnBeta、环球网、快科技等多家媒体证实，长江存储从荷兰阿斯麦（ASML）公司订购的一台光刻机已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

另据日经亚洲评论（Nikkei Asian Review）上周报道，中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机。这台机器预计将于2019年初交货。

每经小编（微信号：nbdnews）注意到，荷兰当地媒体《埃因霍温经济报》也证实了上述消息。

从飞利浦独立出来的阿斯麦公司在高端光刻机领域占据了全球90%的市场份额。光刻机（又称曝光机）是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。

▲法国研究所暗室中的小型曝光机（图片来源：维基百科guillom）

如今，中国两家企业先后订购了两台高端光刻机，总价值约12.3亿元人民币。据日经亚洲评论报道，阿斯麦公司有关人士否认有媒体关于“高端光刻机对中国大陆禁运”的传闻，强调对中国大陆客户一视同仁。

此外，阿斯麦公司接受中芯国际订单的时间点是在今年4月中兴通讯遭遇美国制裁之后。

长江存储迎来第一台光刻机

2016年，紫光集团与国家集成电路产业投资基金、湖北科投等合资成立了长江存储，注册资本额为人民币386亿元。长江存储公司是中国高端芯片联盟发起单位之一，被寄望推动中国半导体产业自主研发。

▲长江存储官网宣传片截图

据快科技等报道，长江存储订购的这台光刻机采用193nm沉浸式设计，可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆，售价达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

目前，该机已经运抵武汉天河机场，相关入境手续办理完毕后，即可运至长江存储的工厂。

根据官网资料，2016年底，国家存储器基地项目(一期)一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设，2017年9月底提前封顶，2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。

▲国家存储器基地项目芯片生产机安装仪式（图片来源：长江存储官网）

目前，长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产，不少产业链企业都拿到了样片测试，预计今年第四季度量产。同时，长江存储还在推进64层堆叠3D闪存，力争2019年底实现规模量产，将与世界领先水平差距缩短到2年之内。

中芯国际进军“7纳米”时代

每经小编（微信号：nbdnews）注意到，2000年成立的中芯国际（SMIC）总部位于上海。在港股上市的中芯国际据称是中国大陆规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业之一。

据日经亚洲评论报道，尽管中芯国际在这一市场仍落后于市场领先者两至三代技术，但是购买到目前世界最先进的EUV光刻机，彰显了其努力追赶的决心。

▲阿斯麦官网产品示意图

每经小编（微信号：nbdnews）了解到，EUV是目前世界上最昂贵也是最先进的芯片生产工具。小于5纳米的芯片晶圆，目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片，这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。

中芯国际这次引进的EUV光刻机预计将于2019年初交付。而在2017年3月，中芯国际宣布将进军7纳米工艺技术的研发。

有芯片行业高管表示，“购买这样的机器虽然不能保证100%成功，但这至少显示了中芯国际自主研发的决心和动力。”

光学研究机构人士表示，“这台光刻机一旦安装完成，将会极大缩短工艺时长，并且让厂商有能力尝试生产更复杂的高精度芯片。”

▲图片来源：摄图网（图文无关）

中芯国际2017年净利润为1.264亿美元，几乎全部用于这台光刻机的订购了。2018年一季度，中芯国际净利润为2937万美元。

中芯国际联合首席执行官赵海军在5月10日的财报电话会议上称，该公司将2018年芯片生产的全年资本支出从19亿美元上调至23亿美元。

光刻机：摩尔定律“守护神”

那么，这种无比金贵的光刻机，到底有什么样神奇的魔力呢？

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机的价格昂贵，通常在3000万至5亿美元不等。

目前，虽然尼康、佳能等对手都在勉力竞争，但是阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。最新的两代高端光刻机领域，即浸入式（Immersion）和极紫外线式（EUV）光刻机，全部由阿斯麦掌握核心技术。

▲刻蚀后的晶圆（图片来源：维基百科）

光刻机的作用是扫描曝光芯片晶圆，刻蚀集成电路。精度越高的光刻机，能生产出纳米尺寸更小，功能更强大的芯片。

目前，苹果iPhone X和iPhone 8系列的核心处理器芯片，采用了台积电的10纳米工艺技术，而今年即将推出的新款iPhone将使用7纳米工艺技术。阿斯麦的EUV光刻机，则能生产出5纳米工艺级别的芯片。

因此，阿斯麦的光刻机甚至被称为“摩尔定律”的守护神。众所周知，摩尔定律是指每隔两年左右一个芯片上的晶体管数量将翻一番，因此芯片的性能将相应提高。

随着芯片面积越来越小，很多人开始担心1965年提出的摩尔定律将要失效。但是光刻机的更新换代，却还在将芯片工艺推向极致，大体上维持着摩尔定律。

阿斯麦看好中国大陆市场

《瓦森纳协定》是一项由40个国家签署的协定，限制缔约国向非缔约国出售敏感性高科技技术。

此前曾有一种说法，认为最高端的光刻机技术受到《瓦森纳协定》影响，被禁止向中国大陆出售。然而，阿斯麦公司发言人向日经新闻驳斥了这一传闻。

该发言人表示，阿斯麦公司对全球各地包括中国大陆在内的客户一视同仁，对中国大陆晶圆厂商的出口不受《瓦森纳协定》等任何限制。

▲图片来源：摄图网（图文无关）

每经小编（微信号：nbdnews）了解到，阿斯麦中国区总裁金泳璇曾经表示过，产能和研发周期才是制约阿斯麦供货数量的关键。在2018-2019年间，阿斯麦公司看好中国大陆地区芯片生产规模迅速扩大。

2017年10月，在接受中国台湾地区半导体行业媒体数码时报（DigiTimes）采访时，金泳璇表示，

“中国大陆的晶圆厂与其他所有客户，于ASML而言都是一视同仁的，只要是确认订单，EUV要进口到中国大陆完全没有任何问题。

由于EUV零组件多达5万多个部件，从客户下单到正式交货，交期约21个月，这个情况，对每个客户都是完全一致的。

我们对中国大陆客户装入其第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待。同时认为一旦一家中国大陆客户采用，其他客户也会快速跟进。”

ASML预期，中国光刻机市场规模具30亿欧元潜力。由于中国晶圆厂2018-2019年持续投入资本扩充产能，ASML 2018年销售很可能创下中国区销售新高，而2019年也会持续呈现更明显的跳跃式增长。

每经小编（微信号：nbdnews）注意到，阿斯麦2017年营收高达90.5亿欧元，净利润21.2亿元。2018年一季报显示，2018年阿斯麦销售依然强劲，今年一季度达22.9亿欧元，净利润5.4亿欧元。

而在最近一年的时间内，阿斯麦在美国纳斯达克的股价累计涨幅达到47.3%。（每日经济新闻）