近日，西安电子科技大学杭州研究院保宏PI团队青年教师王备博士以第一作者身份，在国际顶级期刊《Advanced Functional Materials》（IF=19，中国科学院一区前5% TOP）发表了题为《Liquid Metal-Based High-Density Interconnect Technology for Stretchable Printed Circuits》的研究文章，该研究以解决目前市场上人工耳蜗电极制作的局限性为出发点，利用液态金属作为互连材料，提出并验证了一套液态金属高密度互连（HDI）技术，为下一代神经探针、超声波和传感器阵列中高分辨率兼具高密度集成的多层可拉伸器件提供了必要技术支持。

　　西安电子科技大学杭州研究院为该论文第一署名单位。论文的合作单位包括瑞典乌普萨拉大学微系统技术系及其附属医院外科科学系，林雪平大学生物医学和临床科学系。

　　镓基液态金属在常温下呈液体状态，并具有金属级别的导电率，是目前导电性最高的可拉伸导体材料，是柔性可拉伸电子中理想的互连材料，基于液态金属的高密度互连(HDI)技术对于可拉伸印刷电路板具有重要意义。该技术利用激光刻蚀硅胶以获取微尺度凹槽图案，采用聚乙烯醇作为保护膜，然后通过自开发的微米级的液态金属颗粒喷雾沉积，实现了高分辨率的液态金属图案，并同时实现了多层元件的高密度集成。

　　这一技术能够在每平方毫米集成六个0201引脚，制作的高密度（6?8）显示阵列展示了良好的可拉伸性。人工耳蜗电极是一个典型的需要HDI技术支撑的器件，这是由于耳蜗尺寸的局限性和多通道声音分辨率对集成度的要求决定的。制作的人工耳蜗电极满足各项电学性能指标，通过在豚鼠上的植入试验表明，其能够通过电子听觉脑干反应（eABR）和电子复合动作电位（eCAP）激活听觉神经。此超薄超柔软且可拉伸的人工耳蜗有望在植入过程中减轻患者痛苦，能够共形的依附于耳蜗内部提供更精准的信息并保护患者的残余听力，且制造过程可控具有工业化潜力。

　　据介绍，目前，西电杭州研究院汽车电子研究所保宏PI团队现有柔性电子研究方向成员6人，其中获得国家自然青年基金资助2项，博士后基金特别资助3项，博士后基金资助4项，航空科学基金1项，国重开放课题3项等，团队在2023年内已发表SCI论文20余篇，其中中国科学院一区论文10余篇，包括《Advanced Functional Materials》1篇（影响因子：19），《Innovation》2篇（影响因子：32.1），出版英文专著一部《Flexible Electronics: Theory and Method of Structural Design》；以客座编辑组织中国科学院一区SCI期刊《Rare Metals》专刊，呈现良好的发展势头。（通讯员：冯益华）