3月11日上午，广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（以下简称“增芯项目”）在增城经济技术开发区举行光刻机搬入活动，标志项目顺利进入调试投产准备阶段。据悉，增芯项目预计今年6月通线，12月底完成第一批有良率产品下线，交付客户。

最核心设备到位

通线和量产指日可待

活动现场，一段视频见证了增芯项目光刻机的到来之路。该台光刻机由一架货机将装有该机器的集装箱从产地运送到广州白云机场，再由卡车运至增芯项目工厂。随着光刻机推进清洁室内，增芯项目的工程师们正忙着给其再造第二层清洁区域。

“光刻机是全球最精密的科学仪器之一，在整个芯片制造当中是最关键的核心装备。”广州增芯科技有限公司总经理张亮解释，光刻机的原理类似于晶圆制造的一个照相机，它将光罩上的设计好的芯片图形通过光线曝光的方式印到光感材料上，形成图形，引导后续芯片的定位和刻蚀。光刻机的搬入，意味着项目进入设备安装调试的快车道。“可以说，只要光刻机进场了，离我们正式的通线和产品产量指日可待。”

根据发展计划，今年增芯项目围绕“3月光刻机进场、6月通线、9月产品下线、12月交付客户”的阶段性目标，同步推进竣工验收、产能通线、工厂运营、良率提升和产品交付等工作，上半年全体员工搬入新基地办公。同时持续加大新产品、新技术研发投入力度，进一步拓展客户和市场。

项目建设“加速度”

加快凝聚“芯”动力

增芯项目一期总投资70亿元，建成后将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力，产品主要应用于汽车电子、物联网、类工业、消费电子等领域，是相关领域产品性能表现的决定因素之一。

项目自2022年底动工起，仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设，实现“开工一年装机”；封顶至今仅5个月多月便迎来生产线最核心的装备——光刻机，并步入设备安装调试阶段，充分展现了敢为人先的“增城速度”“增芯速度”，切实为广州东部中心成形起势提供强支撑、“芯”动力。

增城区有关负责人表示，作为广州半导体与集成电路“一核两极多点”产业格局中重要两极之一，近年来，增城积极融入粤港澳大湾区建设，高标准规划建设广州东部中心，加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系。尤其在培育发展集成电路产业方面，相继布局增芯、越海等一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目，覆盖集成电路“四梁八柱”中制造、封测、装备、材料和平台等关键环节。当前正加快建设高端电子信息新材料产业园，加速打造智能传感器产业园，着力推动全产业链条完整集聚，构建粤港澳大湾区的半导体产业聚集区和产业高地，助力广州打造全国集成电路产业集聚区，助力广东打造国家集成电路产业发展“第三极”。

下阶段，增城将全力以赴优化营商环境，继续提供最优质、最便捷、最高效的“全生命周期服务”，大力支持增芯项目建设，做好全链条要素保障，保障顺利投产。同时，抢抓发展机遇，加强高水平人才引进和培育，加大核心技术攻关，强化产业科技深度融合、互促双强，以增芯项目等新兴产业为抓手，发挥行业和技术优势，吸引更多产业链优质资源落户，着力推动战略性新兴产业成链集群发展，在“大干十二年、再造新广州”中展现增城作为，为广东在推进中国式现代化建设中走在前列作出增城贡献。

来源：广州市增城区融媒体中心  记者何秋玲、谢锡权