日前，安徽省科技厅公布了2023年第二批立项的安徽省产业创新研究院。其中，由安徽北方微电子研究院集团有限公司牵头组建的安徽省微机电系统（MEMS）技术产业创新研究院成功立项

获批立项后，安徽北方微电子研究院集团有限公司将紧紧围绕我省产业发展对MEMS器件与微系统的需求，建设集技术创新、成果转化、产业孵化、技术服务、人才交流培养、产业化协同为一体的综合性创新平台，聚力解决MEMS共性关键技术瓶颈，奋力提升全省MEMS技术研制水平和产业化水平。

组建省产业创新研究院是我省强化落实企业科技创新主体地位，推动企业主导的产学研深度融合，更好地服务高水平创新型省份建设的重要举措。产研院重点聚焦省十大新兴产业和未来产业重点领域，采取“揭榜挂帅”等方式，鼓励龙头（骨干）企业或名校名院名所牵头，联合产业链上下游企业、高校院所等，整合创新资源，共同“揭榜”组建。

蚌埠作为全国三大传感器基地之一，也是全省唯一拥有集成电路和MEMS晶圆生产线的城市，正聚力打造中国传感谷。作为我市MEMS智能传感器产业龙头企业，安徽北方微电子研究院集团有限公司拥有6英寸高性能体硅MEMS制造平台以及8英寸微系统集成研发平台，自主研发了与国际先进水平同步的、具有自主知识产权的4套工艺体系，系统性地解决了MEMS制造领域技术短板，成为国内中高端MEMS技术与产品的头部企业，先后获得各类科技成果600余项。

此次安徽北方微电子研究院集团有限公司获批组建的微机电系统（MEMS）安徽省产业研究院，将联合上下游企业进行协同创新，以打造国内一流 MEMS 器件与微系统科技创新、产业孵化高地为目标，重点布局惯性、压力、气体、声学、光电、多参数复合传感等领域，协同完成 MEMS 传感器相关共性关键技术攻关，为国内外企业提供服务，并与国内外 MEMS 领域知名高校、顶尖科研机构和优势企业推动深度合作，开展资源对接、科技成果转移转化。

北方微电子研究院有关负责人表示，此次产研院的批复，将进一步促进MEMS产业链、创新链、资金链及人才链的深度融合，形成引领安徽省 MEMS 器件与微系统产业创新发展的战略科技力量，为蚌埠和安徽高质量跨越式发展增添新的动能。

（来源：蚌埠日报社 安徽省科技厅网站 融媒体记者：顾楷 通讯员：彭雪媛 孙贝贝 编辑：周泽）