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来源:安徽大学收集编辑:安徽大学
近日,我校材料科学与工程学院何刚教授主编的面向新工科的材料类基础教材丛书《高k栅介质材料与器件集成》(ISBN 978-7-302-63914-5) 由清华大学出版社正式出版发行。该教材入选清华大学出版社“十四五”普通高等教育本科规划教材。
作为人类科技史上最成功的技术创新历程之一,由摩尔定律引导的微电子芯片革命已接近终止,而随之而来的后摩尔时代将由新材料、新器件、新计算范式等创新力量所驱动,并将以全新的技术路径来继续承载摩尔定律的精神。在新的时代,人们将看到以新一代核心器件驱动的创新所带来的多材料异质集成、多功能异构集成、存储-计算融合、传输-计算融合、类脑计算等发展方向,为信息技术的升级换代提供新动力。提高器件性能和成品率,确保工艺继续向前推进,离不开新材料的发现与使用。因此场效应器件中栅介质材料的高品质合成与异质器件集成已成为当前材料科学与微电子集成电路领域的重要任务。
何刚教授及其团队深入研究高k栅介质及器件集成二十余载,在高k栅介质材料设计及器件集成应用领域取得了优异成绩,在国内外产生重要影响。该教材由何刚教授组织活跃在该领域前沿的优秀学者撰写而成,涵盖了理论、合成学、器件构筑及应用等方面的代表性成果和发展趋势。该教材首先介绍了集成电路的发展趋势及后摩尔时代的器件挑战,栅介质材料的基本物理概念、制备技术及表征方法; 着重介绍了栅介质材料在不同器件中的集成应用,包括场效应晶体管器件、薄膜晶体管器件、存储器件及神经形态器件等。该教材不仅突出了栅介质材料在器件应用中的先进性和前沿性,也反映了后摩尔时代器件集成的最新研究进展,是理论与实践应用的有机结合。该教材主要面向材料科学与工程、微电子、物理等高年级本科生、研究生和科研研发人员。