千佛殿建于唐贞观年间，宋嘉祐和明嘉靖、万历年间重修，现存木结构为明代建筑。千佛殿是灵岩寺内现今保存最为完好，规模最宏大的一座建筑，由慧崇和尚创建于贞观年间。宋嘉祐六年(1061年)琼环长老重建;明嘉靖年间又重建。现存的千佛殿是明万历十五年(1587年)德藩施资重修的。千佛殿最引人入胜，也是历来为天下人所称道的，莫过于殿内那些安置在四壁台座上的40尊宋代彩色泥塑罗汉，其被誉为“海内第一名塑”。

　　千佛殿依山建于高大的台基之上，其面阔七间，进深四间，单檐庑殿顶，举折平缓，出檐深远。檐下置疏朗宏大的斗拱，木棱彩绘华丽，檐角长伸高耸，有展翅欲飞之势。前檐下立有八根石柱，柱础皆雕刻有龙、凤、花、叶、水波及莲瓣、宝装荷花等纹样，雕工精美，凸显唐宋之风。殿内正中塑有通体贴金的“三身佛”。三尊佛像皆结跏跌坐，仪容端庄，衣纹流畅，服饰简洁，极具艺术感染力。

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