#氖气#

高纯度霓虹是指纯度不低于99.999%的高纯度霓虹，即杂质含量小于10x10-6（体积分数）。工业出口气体中的杂质总量通常小于100 x 10-6（体积分数）。因此，在生产高纯霓虹时，必须进一步纯化纯工业霓虹，以去除小于10x10-6（体积分数）的杂质。

除氦外，工业纯氖的主要杂质通常含有微量的氮、氧、氢、水、一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物，可通过以下方法去除。

反硝化：反硝化有时伴随着脱氧，主要由金属吸收器吸收。常用的金属吸收剂有钙、钛、铀和锆铝16。当金属钙用作吸收剂时，氮和氧同时被吸收。反应温度为650-680℃。当进气中杂质浓度等于40x10-6（体积分数）空气时，出口杂质小于50x10-5（体积分数）[使用新鲜钙时可减少至20x10-7（体积分数）]。金属钙的利用率为50%～60%。海绵钛或锆铝16用作空气吸收器，吸收氧气、氮气、氢气、水蒸气、一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物等杂质。

除氧：一般采用化学除氧。常用的脱氧剂有氧化锰或ag-x分子筛，氧化锰脱氧剂吸氧。总反应式为：6MnO+3O2→6MnO2，反应温度150℃，空速1000h-1，在2x 1 0-6时可除去体积分数为0.1%的氧，在室温下用Ag-X分子筛脱氧，杂质含氧量可由44x10-6降至3x10-5。锰氧化物和Ag-X脱氧剂使用后需要氢气还原，还原后的脱氧剂可重复使用。

氢气脱氧：采用氧化铜或PD-X分子筛脱除氢气。氧化铜脱氢，反应温度350～400℃，空速200h-1，气体中氢的体积分数可由1%降至1x10-6，含2%～5%氧气的惰性气体经氧化铜吸附后再生再利用。当使用pd-x分子筛时，在室温下，氖中微量氢和一氧化碳的体积分数可从11x10-6降低到0.1x10-6。

碳化合物的去除：碳化合物主要是碳氧化物和碳氢化合物，主要是一氧化碳、二氧化碳和甲烷。如上所述，金属吸收剂（例如锆铝-16）可用于去除一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物和其他杂质，同时去除深度达1x 10-6体积分数的氮。

低温吸附：由于氖相当于氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等杂质，其沸点很低，因此可以通过低温吸附同时去除所有杂质。吸附温度是液氮的温度。吸附剂可以是微孔硅胶、氧化铝或分子筛，去除深度可达1x10-6体积分数。