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DOI 编码:10. 14016 / j. cnki. 1001-9227. 2022. 08. 007
作者：熊显名 ,王秀秀 ,任星晓
(桂林电子科技大学 电子工程与自动化学院)
摘 要 :由于极高的光学分辨要求 ,导致焦深日益减小 ,为适应十分有限的焦深 ,探索一种可以应用于晶圆检测 设备中的调焦技术 。主要研究内容包括激光位移传感器检焦测量原理、调焦工作原理、调焦流程以及利用最小二乘 法拟合晶圆面型 。采用 Tenengrad 梯度函数和 Sobel 算子提取像素点水平方向和垂直方向的梯度值 ,以此来评判图像 清晰度 ,验证激光位移传感器在晶圆检测工作中调焦得可行性 ,从而提供一种更加通用便捷的工程解决方案。
关键词 :调焦;曲面拟合;晶圆检测;激光位移传感器
（来源： 自动化与仪器仪表 2022年第8期）
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