电子气体国产化替代急需提速

9月6日,2022中国电子气体高峰论坛暨中国电子气体百人会年度论坛在南京举行。与会专家认为,电子气体的供应安全关系到国民经济的持续稳定发展。在疫情多点散发、地缘政治冲突升级的背景下,为防止被国外“卡脖子”,电子气体的国产化替代迫在眉睫。


据上海集成电路材料研究院院长黄嘉晔介绍,电子气体作为电子工业的“血液”与“粮食”,占据了全球半导体产业链原材料市场约13%的份额。在制造集成电路所需的所有材料中,电子气体占了1/3,对我国电子产业发展起着至关重要的支撑作用。“2019年,日本限制对韩国出口3种关键半导体原料,造成韩国383亿美元的损失,其中就有高纯度氟化氢这种电子气体。”黄嘉晔说。


“近期的地缘政治冲突升级已让我们体会到,核心技术必须掌握在自己手中,电子气体的国产化替代势在必行。”杭州中泰深冷技术股份有限公司副总经理黎佳荣说,以氖气为例,由于乌克兰占据了全球30%以上的氖气供应量,俄乌冲突发生后,国内氖气价格从500元/立方米一路涨至12000元/立方米,上涨超20倍。


“目前集成电路制造所需的近百种特种气体中,我国仅有20%~40%实现国产化或正在国产化进程中,其余均控制于外资企业之手,极易被国外‘卡脖子’。”黎佳荣指出,电子气体的品种和供应链不完整,我国电子工业的发展就要受制于人。


对此,中船(邯郸)派瑞特种气体有限公司总经理助理尚青提出建议,从短期看,我国电子气体产业需要减缓产品同质化趋势,实现产品路线差异化,促进行业良性竞争;从中期看,需要以产品为中心,重点解决关键短板,实现自给自足;从长期看,行业应持续关注原创共性技术研发及国产化进程,健全有效机制,引导技术研发与应用需求相结合,推进产学研用协调发展,最终实现从技术跟随到技术引领的转变。


中国工业气体工业协会专家认为,最好能为半导体用电子特气产品增列专用子目,将其与大化工产品区别开来。同时,参照韩国等国做法,增加政府投资、加大扶持力度、提供退税补贴,降低电子气体企业出口成本,增强其国际竞争力,调动国内相关产业发展的积极性。此外,还应出台相应支持政策,加速中小企业战略整合,培育世界级的本土电子气体企业。


中国工业气体工业协会常务副理事长洑春干还倡议设立中国氦气产业创新发展委员会,以强化企业间交流,推动技术合作和联合攻关。


本次论坛由中国工业气体工业协会主办。


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