日期: 2018-05-23 02:25:10 来源:Tech趣谈收集编辑:光刻 在中芯国际和ASML确认双方签订EUV极紫外光刻机购买协议的时候,国内另一家存储厂商长江存储也迎来了一台极紫外光刻机,这台光刻机同样来自荷兰ASML(把持着全球90%的光刻机市场),193nm沉浸式设计,可生产14-20nm工艺的3D NAND闪存晶圆,售价达7200万美元,约合人民币4.6亿元。 目前这台光刻机已经运抵武汉天河机场,办理完相对应的手续,将会运往长江存储的工厂进行安装。