美日丰创无尘车间内

台海网4月24日讯（海峡导报记者邬眉通讯员管轩雷飏文/美日丰创光罩公司供图）集成电路俗称“芯片”，光罩是芯片的关键性技术。昨日，厦门注入强大“芯”力量——厦门美日丰创光罩有限公司宣布正式开工，将于6月出货，预计今年产能将达4000片。

昨天上午10：30，在厦门火炬(翔安)产业区，美日丰创举行开工典礼。美日丰创由全球商用光罩巨头——美国丰创股份和日本DNP(大日本印刷株式会社)合资，于2017年6月破土动工，项目总投资10.67亿元，总建筑面积3.9万平方米，是目前国内唯一一家独立的高端光罩厂，可为国内提供主流的14纳米及以上制程的光罩。

光罩是集成电路产业链的重要组成部分，类似于生产集成电路的“胶卷底片”，全世界能够生产光罩的先进工厂不超过十家，此前，大陆主要高端晶圆厂商使用的光罩多依赖国外进口。美日丰创光罩项目可为已经落户厦门的联芯配套，投产后将扩大联芯产能，增强竞争力，同时，可吸引更多集成电路设计企业聚集厦门，强化集成电路产业集聚效应，对厦门市乃至大陆的集成电路产业发展都具有重要意义。

近年来，厦门正在打造集成电路千亿产业链，2017年厦门火炬高新区集成电路产业规模居全国第五，园区已集聚集成电路及配套企业近150家，并初步形成覆盖“芯片设计、材料与设备、晶圆制造、封装测试、应用”的集成电路全产业链布局。其中，联芯12英寸晶圆厂已经投产，成为我国大陆地区已投产的技术水平最先进、良率最高的12英寸晶圆厂。

据介绍，目前，美日丰创正加紧试产跑线，投产后初期每月产能为500片，1年后将增产到1200片到1500片，成为大陆地区规模最大的集成电路商用光罩生产基地。

美国丰创公司首席执行官Peter Kirlin表示，下一步，将在厦打造世界顶级光罩研发中心，计划投资1亿美元研究7纳米和EUV（极紫外线）光刻工艺，为厦门集成电路发展提供更多的技术支撑。据悉，目前全球只有台积电、三星和英特尔三家国际大厂有这样的工艺水平研发和生产。

科普

光罩和集成电路

集成电路是一种微型电子器件或部件。它采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。

光罩是将电路设计转移到晶圆片上的一个必要转换媒介，由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料。

在集成电路的过程中，将光罩送至晶圆厂放置于光刻机台中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图形，为将图形复制于晶圆上，必须透过光罩作用，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上，其中把晶圆片比作照片，那么光罩就相当于“胶卷底片”，只要光罩存在，就能复制无数的晶圆片。

由于晶圆上的所有芯片皆需要藉由光罩专制，光罩的质量必须是零缺陷，线宽的精准工艺要求以纳米为单位。