9月7日，绵阳经信息委和中国(绵阳)科技城工研院联合举办科技成果发布会，会上发布了中国工程物理研究院机械制造工艺研究所(中物院六所)的重大新型成果，高速小型复合分子泵成果打破了国外垄断。
据了解，高速小型复合分子泵可为仪器提高洁净的超高真空环境,具有抽气性能高、气氛洁净、可连续工作等优点。
目前，仪器专用的小型复合分子泵被国外少数公司垄断，价格高、供货周期长，严重制约了国产仪器的可持续发展。中物院六所主持攻克了无位置传感器高速永磁电机驱动、柔性转子高速稳性控制、陶瓷球轴承延寿等关键技术,研制了无位置传感器高速永磁电机控制器、粘弹性减振垫、陶瓷球油承微油润组件等关键部件,开发了DN63型、DN40型和多口型复合分子泵样机。经过第三方测试，其综合性能达到国际先进水平。在多家仪器厂家进行的运行试验，真其空度、稳定性、振动和噪声等指标也均满足应用要求。
另据介绍，本次发布的四极质量分析器、精密转台等精密组件，已具备系列化定型产品的研发和生产能力，实现了对国外产品的替代，部分指标优于美国等发达国家技术水平。（综合四川在线、中物院报道。）
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